高精度、大尺寸和柔性是目前移動顯示屏發(fā)展的主要趨勢。這對LTPS AMOLED是一大利好。為了應(yīng)對未來市場對AMOLED面板的需求，有消息稱目前已經(jīng)有韓國廠商嘗試采用6代線切割LTPS AMOLED。不過，與a-Si TFT高達(dá)90%以上的良品率相比，低良品率一直是橫亙在LTPS面前的一大問題。日前，應(yīng)用材料公司推出可用于6代線的25KPXi CVD設(shè)備，采用超低缺陷控制設(shè)計，可提升設(shè)備性能和系統(tǒng)穩(wěn)定性，有利用推動LTPS AMOLED向6代線過渡。

　　6代LTPS AMOLED受關(guān)注

　　LTPS(低溫多晶硅技術(shù))最初是為降低顯示屏幕的能耗，令顯示屏更薄更輕而研發(fā)的一項背板驅(qū)動技術(shù)。由于采用它之后，液晶顯示屏電子遷移率將比傳統(tǒng)的a-Si TFT更高，也被引入AMOLED顯示屏領(lǐng)域，并大大加速了小尺寸OLED的開發(fā)與量產(chǎn)進(jìn)程。目前，以智能手機(jī)為代表的移動顯示市場增長很快，需要更高精度、更大尺寸，未來對柔性屏的需求也很大。具備上述特點(diǎn)的LTPS AMOLED技術(shù)被廣泛看好。

　　行業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)NPD DisplaySearch數(shù)據(jù)顯示，隨著高分辨率智能手機(jī)的盛行以及智能手機(jī)屏幕平均尺寸持續(xù)增長，LTPS面板需求將持續(xù)走高，2013年LTPS面板需求面積為328.8萬平方米，AMOLED面板需求面積為137.6萬平方米;預(yù)計至2020年，LTPS面板需求面積年復(fù)合增長率將為24.1%，AMOLED面板需求面積年復(fù)合增長率達(dá)40.7%。

　　受市場驅(qū)動，從去年底開始已有韓國廠商嘗試采用6代線切割LTPS AMOLED。有業(yè)者向記者透露：“預(yù)計到了明年就會有一個比較規(guī)?；囊粋€6代LTPS AMOLED生產(chǎn)線出貨”。

　　與此同時，國內(nèi)顯示面板企業(yè)也開始推進(jìn)第6代LTPS生產(chǎn)線的建設(shè)，將來未嘗不能轉(zhuǎn)向AMOLED的生產(chǎn)。

　　良率提升是關(guān)鍵

　　盡管采用LTPS技術(shù)的中小尺寸面板在全球非常具有市場競爭力，但是與傳統(tǒng)的非晶硅和金屬氧化物薄膜晶體管相比，LTPS生產(chǎn)工藝更加復(fù)雜，技術(shù)難度也更高，顯示企業(yè)雖然有動力采用更高世代產(chǎn)線投入生產(chǎn)，可是良品率的提高卻一直是一大挑戰(zhàn)。

　　清華大學(xué)教授高鴻錦表示，LTPS不像a-Si那么穩(wěn)定，想要提高工藝和技術(shù)并不是一件容易的事情。如果LTPS能夠降到6次掩膜，那么良品率會提高很多。

　　“目前所有投資LTPS的廠商，最關(guān)注的一點(diǎn)就是良品率的提高。良品率理論上應(yīng)該是可以達(dá)到85%以上，特別是對于一些LTPS/AMOLED量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)豐富的企業(yè)來說，但對有些企業(yè)來說，良品率確實(shí)是一個問題。”應(yīng)用材料公司顯示事業(yè)部首席營銷官M(fèi)ax McDaniel表示，“但正因如此，當(dāng)別人都受到良品率困撓的時候，你如何能夠快速控制好良率的話，就能讓你把握市場先機(jī)。”

　　控制好顆粒

　　“提升良品率的關(guān)鍵之一是要控制好生產(chǎn)過程中的顆粒。” Max McDaniel表示。市場對顯示面板分辨率的需求越來越高，300PPi以上的顯示屏越來越普遍。“但是在提高分辨率的時候，薄膜晶體管的尺寸勢必越做越小。在正常生產(chǎn)條件下，顆粒的存在是必然的，且越小的顆粒數(shù)量越多。但是隨著薄膜晶體管尺寸的變小，原來不會引起致命缺陷的小顆粒就會變成致命的缺陷。應(yīng)材一直在和客戶一起來合作，或者開發(fā)新的生產(chǎn)工藝，或者是研發(fā)新的生產(chǎn)設(shè)備，就是希望能夠控制好工藝生產(chǎn)中的顆粒，將它控制在不致影響良品率的情況下。”

　　“25KPXi CVD是專門針對大尺寸LTPS而設(shè)計的，其首先目標(biāo)就是要在良率顆粒的控制上做進(jìn)一步的改進(jìn)，簡化設(shè)計，可有效識別顆料來源，從而在降低顆粒的產(chǎn)生。” Max McDaniel介紹。

　　此外，25KPXi CVD還采用了HCE(空心陰極效應(yīng))技術(shù)，其進(jìn)行更加有效地進(jìn)行氣體分離，形成更高質(zhì)量的薄膜，更高的射頻功率亦可降低放電風(fēng)險，提高等離子密度的可控性可使成膜的均勻性提高。

　　最后，Max McDaniel還指出，對于進(jìn)行大批量生產(chǎn)的顯示工廠來說，還十分重視設(shè)備系統(tǒng)的穩(wěn)定性。在這方面，應(yīng)材具有豐富的6代線以上的安裝經(jīng)驗(yàn)，同時具備完善的本地支援能力?？梢缘浆F(xiàn)場幫助客戶調(diào)試機(jī)臺，更快地提升良品率。

　　控制好顆粒、提高設(shè)備性能、提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性都是確保LTSP AMOLED順利向6代過渡的重要保障。